| 製品名称 | UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド |
|---|---|
| 分類 | 吸着ハンド |
| 用途 | ウエハ搬送用(大気用) |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| 特徴 |
耐久性向上 高耐熱性 接着剤不使用 |
| サイズ |
12インチ：外形330×104 mm、厚み3.5 mm 8インチ ：外形158×74 mm、厚み1.9 mm |
この製品の特徴
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
特徴
特徴
-
・高耐熱性
・薄型化
・軽量化
・たわみが少ない
・空洞一体技術で耐久性が向上
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
形状
形状
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図1は、12インチのUniZac-air® の外観形状です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
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図2は、8インチのUniZac-air® の外観形状です。2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
ロボットへの取付穴は、ご希望の位置に加工が可能です。
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
事例・実績
事例・実績
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
図面ダウンロード
図面ダウンロード
LeviZac 12インチ
（レビザック12インチ）
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接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
LeviZac 8インチ
（レビザック8インチ）
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接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
PeriZac 12インチ
（ペリザック12インチ）
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接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
PeriZac 8インチ
（ペリザック8インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
UniZac-air 12インチ
（ユニザックエア12インチ）
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接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効
UniZac-air 8インチ
（ユニザックエア8インチ）
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接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効
UniZac-Obon 8インチ
（ユニザックオボン8インチ）
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接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
軽量化・薄型化を実現
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」の
動画
動画
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吸着ハンド（UniZac-air®）12インチの搬送動画
12インチ 吸着ハンド（UniZac-air®）のウエハ搬送動画です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着し、搬送しています。空洞一体技術を使用して製作しているため、接着剤を使用していません。耐久性が高く、高温環境で使用ができます。有機系のアウトガスが発生するリスクがありません。
「UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド」に
関するよくある質問
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位置の変更はできます。センターライン上の表面あるいは裏面に吸引ポート穴を開けることが可能です。貫通穴の対応も可能です。
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製作は可能です。Y型の形状のUniZac-air® では、4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
詳細はお問い合わせください。
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反転搬送ができます。12インチのUniZac-air® は、3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。8インチのUniZac-air®は、2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
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できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。
